Аннотация:
Теоретически и экспериментально исследованы особенности трибометрического взаимодействия двух диэлектрических подложек с одинаковыми свойствами поверхности при экспресс-контроле степени их чистоты. Показано, что выполнение равенства коэффициента трения скольжения коэффициенту трения покоя определяет поверхность как технологически чистую. Экспериментально доказано, что трибометрическое взаимодействие подложек не приводит к механическому повреждению исследуемой поверхности. Предложено дополнить устройство дифракционной решеткой, формирующей световые импульсы, по параметрам которых (длительность импульсов светового потока; среднее значение суммы трёх импульсов, степень их отклонения от эталонных значений) происходит оценка степени загрязнения поверхности подложек. Показано, что применение дифракционной решетки с периодом T=63 мкм и шириной щели b=20 мкм позволяет увеличить разрешающую способность трибометрического устройства в 16 раз.

Литература:

1. Колпаков А.И. Метод определения чистоты поверхности подложек // Электронная промышленность. 1993. № 4. С. 37-39.
2. Полтавцев Ю.Г., Князев А.С. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике. – К.: Тэхника, 1990. – 205 с.
3. Перескокова А.П., Солодовникова Л.В., Акимова А.М. Применение трибометрического метода для контроля чистоты поверхности деталей и технологических сред // Электронная техника: Технология, организация производства и оборудование, 1979. Серия №7. Вып. 1. С. 143-151.
4. Колпаков В.А., Колпаков А.И., Кричевский С.В. Устройство экспресс-контроля чистоты поверхности диэлектрических подложек // Приборы и техника эксперимента, 1995. №5. С. 199-200.
5. Пиганов М.Н., Колпаков А.И., Кричевский С.В. Устройство экспресс контроля чистоты поверхности подложек трибометрическим методом // Тезисы докладов международной научно-технической конференции «Перспективные технологии в средствах передачи информации», - Владимир, 1995. С. 155-157.
6. Колпаков А.И., Волков А.В. Способ измерения чистоты поверхности подложек Авторское свидетельство № 1821688, Бюл. № 22, от 15.06.93. С. 95.
7. Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Колпаков А.И., Кричевский С.В., Ивлиев Н.А. Оптимизация параметров устройства трибометрического измерения чистоты поверхности подложек // Компьютерная оптика. № 28, 2005. С. 76-79.
8. Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Колпаков А.И. Исследование особенностей процесса анизотропного травления диоксида кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа // Микроэлектроника. 2004. Т. 33. № 3. С. 209-224.
9. Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Кричевский С.В., Ивлиев Н.А. Способ измерения чистоты поверхности подложек // Решение о выдаче патента на изобретение по заявке № 2005118279 /28(020754) от 10.01.07.
10. Бакли Д. Поверхностные явления при адгезии и фрикционном взаимодействии // М.: Машиностроение. 1989. С. 14.
11. Методы компьютерной оптики // Под ред. Сойфера В.А. – М.: Физматлит, 2003. – 688 с.
    

---

© 2009, ИСОИ РАН
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: ko@smr.ru ; тел: +7 (846 2) 332-56-22, факс: +7 (846 2) 332-56-20