Анализ зависимости разрешающей способности технологии локального термохимического окисления от параметров структуры светочувствительной пленки хрома

Агафонов А.Н., Моисеев О.Ю., Корлюков А.А.

Аннотация:
Исследовано влияние структуры пленки хрома на процессы термохимического окисления, стимулированного лазерным излучением. Приведены результаты численных и натурных экспериментов. Показана возможность записи структур с характерным размером меньше диаметра записывающего лазерного луча.

Abstract:
The present paper is devoted to investigation of influence of thin chrome films microstructure to kinetics of thermochemical oxidation, stimulated by laser radiation. Results of numerical and nature experiments are presented. The principal possibility of laser writing of structure with linear size less then diameter of laser beam is shown.

Ключевые слова: хром, окисление, структура пленки, кристаллит, лазерная запись.

Key words:chrome, oxidation, structure of film, crystallite, laser writing.

Литература:

  1. Волков, А.В. Формирование микрорельефа с использованием халькогенидных стеклообразных полупроводников/ А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Ю. Моисеев // Компьютерная оптика – 2002. - № 24. - C.74-77.
  2. Корольков, В.П. Изготовление высокоэффективных ДОЭ с помощью плутоновых фотошаблонов на основе LDW-стекол / В.П. Корольков, А.И. Малышев, Н.Г. Ни­ки­тин, А.Г. Полещук, А.А. Харисов, В.В. Черкашин, Ву Чак // Компьютерная оптика. – 1998. – №18. – C. 121-127.
  3. Вейко, В.П. Структурно-фазовая модификация стеклокерамических материалов под действием излучения CO2-лазера / В.П. Вейко, Г.К. Костюк, Н.В. Никоноров, Е.Б Яковлев // Известия РАН. Серия физическая. – 2008. – Т. 72, -№ 2. – С. 184-188.
  4. Полещук, А.Г. Дифракционные оптические элементы: методы синтеза и применение/ А.Г. Полещук, диссертация на соискание степени доктора технических наук – Новосибирск, 2003.
  5. Никитин, В.Г. Исследование кинетики процессов круговой лазерной записи в пленках хрома при изготовлении дифракционных оптических элементов и контроль их эффективности / В.Г. Никитин: диссертация на соискание степени кандидата технических наук – Новосибирск, 2007.
  6. Poleshchuk, A.G. Laser writing systems and technologies for fabrication of binary and continuous-relief diffractive optical elements /A.G. Poleshchuk, V. P. Korolkov //Intl. Conf. on Lasers, Applications, and Technologies 2007: Laser-assisted Micro- and Nanotechnologies, Proc. of SPIE. -2007. -Vol. 6732, 67320X.
  7. Казанский, Н.Л. Исследовательский комплекс для решения задач компьютерной оптики/ Н.Л. Казанский// Компьютерная оптика. -2006. - № 29. - С. 58-77.
  8. Кирьянов, А.В. Особенности применения технологии записи скрытых изображений в пленках хрома при синтезе прецизионнных углоизмерительных структур/ А.В. Кирьянов, В.Г. Никитин // Автометрия. – 2009. – № 1. – С. 109-117.
  9. Либенсон, М.Н. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимовлияние / М.Н. Либенсон.– СПб.: Наука, 2007. – 423 с.
  10. Миркин, Л.И. Физические основы обработки материалов лучами лазера – М.: Изд. МГУ, 1975. – 382 с.
  11. Ажажа, В.М. Особенности рафинирования алюмотермического хрома / В.М. Ажажа, В.Д. Вирич, Г.П. Ковтун, А.П. Свинаренко, В.М. Шулаев, А.П. Щербань // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники. – 2006. – № 1(15). – С. 23-25.
  12. Агафонов, А.Н. Разработка физических принципов и алгоритмов компьютерного моделирования методами вероятностного клеточного автомата базовых процессов формирования микроструктур / А.Н. Агафонов, А.В. Волков, А.Г. Саноян, С.Б. Коныгин // Вестник СамГТУ. – 2007. – №1. – С. 99-107.
  13. Агафонов, А.Н. Моделирование процесса термохимического окисления тонких пленок хрома, стимулированного лазерным излучением / А.Н. Агафонов// Харьковская нанотехнологическая ассамблея - 2007. – Харьков: ННЦ «ХФТИ», ИПП «Контраст», 2007. – С. 262.
  14. Chopard, B. Cellular Automata Modeling of Physical Systems / B. Chopard, M. Droz – Cambridge University Press, Collection Al'ea, 1998. – 341 p.
  15. Смитлз, К. Дж. Металлы / К. Дж. Смитлз; пер. с англ. – М.: Металлургия, 1980. – 447 с.
  16. Никольский, Б.П. Справочник химика / Б.П. Никольский [и др.] – М.: Химия, 1966. – Т. 3. – 1004 с.
  17. Файнман, Р., Лейтон, Р., Сендс, М. Файнмановские лекции по физике – М.: Мир, 1977. – Т. 7. – 259 с.
  18. Ландау, Л.Д., Лифшиц, Е.М. Теоретическая физика. Электродинамика сплошных сред T 8. / Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц.– М.: Физматлит, 2003. –– 656 с.
  19. Чопра, К.Л. Электрические явления в тонких пленках – М.: Мир, 1972. – 432 с.
  20. Боуэн, Д.К. Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография / Д.К. Боуэн, Б.К. Таннер – СПб.: Наука, 2002. – 274 с.

References:

  1. Volkov, A.V. Microrelief fabrication using glasslike chalcogenide semiconductor/ A.V. Volkov, N.L. Kazansky, O.Y. Moiseev// Computer Optics. –2002. – № 24. – P. 74-77. – (in Russian).
  2. Korolkov, V.P. Fabrication of high-efficiency DOEs by halftone pattern, based on LDW-glass / V.P. Korokkov, A.I. Malyshev, N.G. Nikitin, A.G. Poleschuk, A.A. Kharisov, V.V. Tcherkashin, C. Wu // Computer Optics. –1998. – № 18. – P. 121-127. – (in Russian).
  3. Veiko, V.P. Structure and phase modification glassceramics by CO2 laser radiation / V.P. Veiko, G. K. Kostyuk, N.V. Nikonorov, E.B. Yakovlev // Proc. RAS. Physics series. – 2008. – V. 72. -N 2. – P. 184-188. – (in Russian).
  4. Poleschuk, A.G. DOE: methods of synthesis and applications / A.G. Poleschuk: doctorate thesis – Novosibirsk, 2003. – (in Russian).
  5. Nikitin, N.G. Kinetics of circle laser writing in chrome films when making DOE and them effectiveness control / N.G. Nikitin, candidates dissertation – Novosibirsk, 2007. – (in Russian)
  6. Poleshchuk, A.G. Laser writing systems and technologies for fabrication of binary and continuous-relief diffractive optical elements /A.G. Poleshchuk, V. P. Korolkov //Intl. Conf. on Lasers, Applications, and Technologies 2007: Laser-assisted Micro- and Nanotechnologies, Proc. of SPIE -2007. -Vol. 6732, 67320X.
  7. Kazansky N.L. Research complex for problems of computer optics/ N.L. Kazansky //Computer Optics. –2006. – № 29. – P. 58-77. – (in Russian).
  8. Kiryanov, A.V., Nikitin, V.G. Feature application of writing latent images in the chrome films technology when precision angle-measuring structures synthesis // Avtometrija. – 2009. – № 1. – P. 109-117. – (in Russian).
  9. Libenson, M.N. Optical and thermal processes in solid state, stimulated by laser radiation – St. Petersburg: Science, 2007. – P. 423 – (in Russian).
  10. Mirkin, L.I. Physics of processing matter by laser beams – Moscow: MSU, 1975. – 382 pp. – (in Russian).
  11. Ajaja, V.M. Specifics of aluminothermic chrome refining / V.M. Ajaja, V.D. Virich, G.P. Kovtun, A.P. Svinarenko, V.M. Shulaev, A.P.Scherban // Questions of atomic science and technology. Series: Vacuum, pure materials and superconductors – 2006. – №1(15). – P. 23-25. – (in Russian).
  12. Agafonov, A.N. Development of physical principals and algorithms for computer simulation of microstructure formation basic processes by probability cellular automata / A.N. Agafonov, A.V. Volkov, A.G. Sanoyan, S.B. Koni­gin // Bulletin of SamSTU (Vestnik SamGTU). – 2007. – №1 – P. 99-107. – (in Russian).
  13. Agafonov, A.N. Modelling thermochemical of thin chrome films, stimulated by laser radiation. Kharkov na­notechnology assembly - 2007. – Kharkov NNC «KPTI», 2007. – P. 262. – (in Russian).
  14. Chopard, B., Droz, M. Cellular Automata Modeling of Physical Systems. – Cambridge University Press, Collection Al'ea, 1998. – 341 pp.
  15. Smitlz, J. Metals (Handbook) – Moscow: Metallurgiya, 1980. – P.447 – (in Russian).
  16. Nickolskiy, B.P. Handbook of chemistry // Мoscow: Chemistry, 1966. – Part. 3. – 1004 pp. – (in Russian).
  17. Feynman, R., Leiton, R., Sends, M. The Feynman Lectures on Physics // Moscow: Mir, 1977. – Part. 7. – P.259 – (in Russian).
  18. Landau, L., Lifshitz, Е. Theoretical physics. Electrodynamics of continuous media – Moscow: Phismatlit, 2003. – Part. 8. – P.656 – (in Russian).
  19. Chopra, K. Electric phenomena in thin films – Moscow: Mir, 1972. – 432 pp. – (in Russian).
  20. Bowen D., Tanner B. X-Ray metrology // St. Petersburg.: Science, 2002. – P. 274– (in Russian).

© 2009, ИСОИ РАН
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: ko@smr.ru ; тел: +7 (846 2) 332-56-22, факс: +7 (846 2) 332-56-20