(43-3) 20 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин

Михеев И.Д., Вахитов Ф.Х.

Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева – КАИ

 PDF, 336 kB

DOI: 10.18287/2412-6179-2019-43-3-507-511

Страницы: 507-511.

Аннотация:
Экспериментально исследованы различия в величинах адгезионных сил взаимодействия острия зонда атомно-силового микроскопа и очищенных поверхностей кремниевых пластин при их обработке изопропиловым спиртом и дистиллированной водой. Показано, что наличие на поверхности подложек молекул воды приводит к значительному (приблизительно в 5 раз) изменению этих сил. Установлено, что использование атомно-силового микроскопа позволяет оценивать относительную величину сил трения на малых участках поверхностей кремниевых пластин..

Ключевые слова:
атомно-силовая микроскопия, кремниевые пластины, трибометрические свойства

Цитирование:
Михеев, И.Д. Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин / И.Д. Михеев, Ф.Х. Вахитов // Компьютерная оптика. – 2019. – Т. 43, № 3. – С. 507-511. – DOI: 10.18287/2412-6179-2019-43-3-507-511.

Литература:
  1. Borodin, S.A. Device for analyzing nanoroughness and contamination on a substrate from the dynamic state of a liquid drop deposited on its surface / S.A. Borodin, A.V. Volkov, N.L. Kazanskii // Journal of Optical Technology. – 2009. – Vol. 76, Issue 7. – P. 408-412. – DOI: 10.1364/JOT.76.000408.
  2. Ivliev, N.A. Determination of concentration of organic contaminants on a silicon dioxide surface by tribornetry / N.A. Ivliev, V.A. Kolpakov, S.V. Krichevskii, N.L. Kazanskiy // Measurement Techniques. – 2017. – Vol. 60, Issue 9. – P. 869-873.
  3. Tong, Q.-Y. Wafer bonding and layer splitting for microsystems / Q.-Y. Tong, U. Gosele // Advanced Materials. – 1999. – Vol. 11, Issue 17. – P. 1409-1425.
  4. Kolpakov, V.A. Measuring the surface purity of substrates by the tribometry method / V.A. Kolpakov, N.A. Ivliev // Instruments and Experimental Techniques. – 2014. – Vol. 57, Issue 5. – P. 640-645. – DOI: 10.1134/S0020441214040174.
  5. Бухараев, А.А. Диагностика поверхности с помощью сканирующей силовой микроскопии (обзор) / А.А. Бухараев, Д.В. Овчинников, А.А. Бухараева // Заводская лаборатория. – 1997. – № 5. – С. 10-27.
  6. Liu, Y. Lateral force microscopy study on the shear properties of self-assembled monolayers of dialkylammonium surfactant on mica / Y. Liu, T. Wu, D.F. Evans // Langmuir. – 1994. – Vol. 10, Issue 7. – P. 2241-2245.
  7. Guo, Y.B. Adhesion and friction of nanoparticles/polyelectrolyte multilayer films by AFM and micro-tribometer / Y.B. Guo, D.G. Wang, S.W. Zhang // Tribology International. – 2011. – Vol. 44, Issues 7-8. – P. 906-917.
  8. Ивлиев, Н.А. Определение концентрации органических загрязнений на поверхности диоксида кремния методами атомно-силовой микроскопии / Н.А. Ивлиев, В.А. Колпаков, С.В. Кричевский // Компьютерная оптика. – 2016. – Т. 40, № 6. – С. 837-843. – DOI: 10.18287/2412-6179-2016-40-6-837-843.
  9. Прокопьев, Е.П. Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества / Е.П. Прокопьев, С.П. Тимошенков, А.Л. Суворов [и др.]. – Препринт института теоретической и экспериментальной физики 24-00. – М.: 2000. – 20 c.

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru ; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20